في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، الطباعة الحجرية هي واحدة من أهم الروابط في عملية نقل الرسومات من الدوائر المتكاملة . في عملية مقاومة للضوء ، معظم مقاومة للضوء مسعور ، في حين أن مجموعات الهيدروكسيل و جزيئات الماء المتبقية على سطح رقاقة السيليكون هي ماء ، مما يؤدي إلى سوء الالتصاق بين مقاومة للضوء ، رقاقة السيليكون ، ولا سيما مقاومة إيجابية ، المطور سوف تغزو تقاطع مقاومة للضوء ، رقاقة السيليكون ، مما يؤدي بسهولة إلى الانجراف ، مقاومة عائمة ، وهلم جرا ، مما يؤدي إلى فشل photoetching نمط نقل ، وفي الوقت نفسه ، الرطب التآكل من السهل أن يحدث التآكل الجانبي . . . . . . . إن viscosifier hmds ( hexamethyldisilazane ) يمكن تحسين هذا الشرط . بعد hmds المغلفة على سطح رقاقة السيليكون ، Siloxane مركب يتكون أساسا من خلال تسخين الفرن . وقد نجحت في تغيير سطح رقاقة السيليكون من ماء مسعور ، مسعور مجموعة يمكن أن تكون جنبا إلى جنب مع مقاومة للضوء ، بدور وكيل اقتران .
HMDS فرن المعالجة والتحكم في طريقة : المعدات تتألف أساسا من تجويف ، فرن التحكم الكهربائية ، ومضخة فراغ . استخدام وحدة تحكم للبرمجة ، واجهة التشغيل 5.7 " e-view شاشة تعمل باللمس بالإضافة إلى زر التحكم الخارجية المشتركة .
HMDS فرن المعالجةالجنس
مزايا HMDS نظام المعالجة هي :
( 1 ) أفضل أداء المعالجة ، لأن بعد عدة مرات من استبدال النيتروجين ثم HMDS العلاج ، لذلك لن يكون هناك أي تدخل من الغبار ، وعلاوة على ذلك ، لأن النظام هو " الخبز " و HMDS العلاج في نفس العملية ، في نفس الحاوية ، رقاقة في الحاوية الأولى بعد 100 درجة مئوية - 200 درجة مئوية من المياه الخبز ، ثم HMDS العلاج ، لا تحتاج إلى الخروج من الحاوية ، ولكن الاتصال مع الغلاف الجوي ، رقاقة امتصاص جزيئات الماء أفضل فرصة العلاج ، لذلك .
( 2 ) تجهيز أكثر تجانسا . كما يتم تطبيقها على سطح رقاقة في شكل بخار ، طلاء السائل لا يمكن أن يكون أفضل من التوحيد .
( 3 ) كفاءة عالية . طلاء السائل هو عملية متجانسة ، في حين أن النظام يمكن التعامل مع ما يصل إلى عدة صناديق من رقائق في وقت واحد .
( 4 ) توفير المزيد من الأدوية السائلة . الممارسة تبين أن هناك المزيد من السوائل الطبية المستخدمة في طلاء رقاقة واحدة مع السائل HMDS من استخدام هذا النظام في التعامل مع عدة صناديق من رقائق .
( 5 ) أكثر صديقة للبيئة وآمنة ، HMDS هي المواد الكيميائية السامة ، بعد استنشاق الناس سوف تظهر الغثيان ، والتقيؤ ، وآلام في البطن ، تهيج الصدر ، الجهاز التنفسي ، وما إلى ذلك لأن العملية برمتها تتم في بيئة مغلقة ، لذلك لا أحد يمكن أن تأتي في اتصال مع الدواء السائل والبخار ، وأكثر أمانا ، ذيل الغاز مباشرة من مضخة ميكانيكية إلى ذيل الغاز المعالج ، لذلك لا تلوث البيئة .