السيليكون متعدد الكريستالات ، المنبع من الضوئية وأشباه الموصلات سلسلة الصناعة ، لديها امكانات كبيرة في السنوات الأخيرة - إنتاج السيليكون متعدد الكريستالات تشمل اثنين من العمليات الرئيسية ، وتحسين عملية سيمنز سيلان المميعة السرير الأسلوب .

عملية إعداد السيليكون متعدد الكريستالات من سيمنز تشمل الخطوات التالية : الجمع بين غاز الكلور والهيدروجين لإنتاج كلوريد الهيدروجين ، كلوريد الهيدروجين غاز و مسحوق السيليكون الصناعية لتجميع trichlorosilane ؛ إرسال غاز التخليق الناتجة عن عملية التوليف إلى ذيل الغاز الانتعاش الداخلي للفصل ؛ فصل الهيدروجين ( الهيدروجين الانتعاش ) وتنقيته وإرسالها إلى الحد الداخلي أو الهدرجة الداخلي لإعادة التدوير ، فصل كلوريد الهيدروجين ( الهيدروجين الحصول على كلوريد الغاز ) العودة إلى عملية التوليف trichlorosilane ؛ إرسال فصل chlorosilane السائل إلى تصحيح وتنقية الداخلي ، ثم إرسالها إلى الحد من trichlorosilane CVD الفرن . رد فعل لإنتاج البولي سيليكون عالية النقاء ، والحد من الغاز يدخل في ذيل الغاز الانتعاش الداخلي ، تنقية رابع كلوريد السيليكون يتم إرسالها إلى رابع كلوريد السيليكون الهدرجة الداخلي ، ثم يتم إرسال الغاز المهدرج إلى ذيل الغاز الانتعاش الداخلي .

السيليكون متعدد الكريستالات المنتجة في نهاية المطاف يمكن أن تكون مصنوعة من سبيكة السيليكون متعدد الكريستالات بعد ذوبان والتبريد ، أو واحد كريستال السيليكون يمكن أن تتولد عن طريق سحب مباشر أو منطقة ذوبان الأسلوب . سبيكة السيليكون متعدد الكريستالات السليكون البلوري واحد قضيب يمكن أن تكون كذلك قطع ومعالجتها . أو تلميع ، تلميع ، تنضيد ، والتنظيف وغيرها من العمليات على شكل رقاقة السيليكون ، مثل أشباه الموصلات الالكترونية جهاز الركيزة المادية .

عملية إنتاج البولي سيليكون ، عملية تحليل الغاز ضرورة :

في عملية إنتاج البولي سيليكون ، كمية كبيرة من الغازات القابلة للاشتعال والمتفجرة والسامة والتآكل ، مثل H2 ، الكلور ، حمض الهيدروكلوريك ، وما إلى ذلك ، يجب أن تستخدم في الوقت الحقيقي رصد وتحليل الغاز في عملية إنتاج البولي سيليكون ، بغض النظر عن متطلبات السلامة ، ومراقبة الجودة ، أو خفض التكاليف وزيادة الكفاءة .

عملية مراقبة

مرحلة التوليف يحتاج إلى استخدام الكلور النقي والهيدروجين لتجميع غاز كلوريد الهيدروجين ، تحتاج إلى تتبع الهيدروجين الأكسجين ، نقطة الندى ، وشارك في ثاني أكسيد الكربون والميثان وغيرها من الشوائب الكشف ، الكلور يحتاج إلى رقابة صارمة على محتوى الرطوبة ، لذلك تحتاج إلى الكشف عن الكلور في تتبع محتوى الرطوبة .

تصحيح الإجراء هو أن chlorosilane التوليف ، الاستعانة بمصادر خارجية chlorosilane ، chlorosilane استردادها من ذيل الغاز من الحد من الفرن ، chlorosilane استردادها من ذيل الغاز من فرن الهدرجة هي تصحيح مستمر في عدة أبراج ، الشوائب مثل ب ، ع ، وما إلى ذلك يتم إزالتها ، عالية النقاء trichlorosilane المنتج و رابع كلوريد السيليكون المنتج يتم الحصول عليها . ع ، ب ، الحديد ، ج ، بينالي الشارقة ، الخ .

إذا كان محتوى الأكسجين في الهيدروجين أكبر من 20 جزء في المليون و نقطة الندى أكبر من - 30 ℃ ، trichlorosilane سوف تحلل أو تتأكسد ، إذا كان هناك ثاني أكسيد الكربون وأول أكسيد الكربون ، الركيزة في الحد من الفرن سوف تتأكسد ، والتي سوف تؤثر بشكل مباشر على جودة المنتج من البولي سيليكون . وفي الوقت نفسه ، في الحد من الفرن ، غاز النيتروجين يجب أن تكون محمية من الغاز ، غاز النيتروجين في نطاق واسع في عملية استبدال الحد من الفرن مع المواد الخام trichlorosilane والهيدروجين الاتصال ، النيتروجين نقطة الندى تتبع محتوى الأكسجين سوف تؤثر بشكل كبير على نوعية البولي سيليكون ، وبالتالي فإن الحاجة إلى رصد أثر النيتروجين الأكسجين ، تتبع المياه ، بعد الكشف عن مستوى تطهير واستبدال .

في مرحلة إعادة تدوير غاز الذيل ، رد فعل الغاز تفريغها من عملية التوليف ، والحد من الهدرجة ، نظام استرداد غاز الذيل يتركز استردادها ، ثم فصل في chlorosilane مختلطة السائل ، كلوريد الهيدروجين والهيدروجين يتم استردادها وإرسالها إلى خزان الهيدروجين ، وكلوريد الهيدروجين يتم إرسالها إلى خزان كلوريد الهيدروجين في عملية التوليف ، chlorosilane مختلطة السائل يتم إرسالها إلى تصحيح عملية إعادة استخدامها .

2 - رصد الأمن

هناك الكثير من الغازات المسببة للتآكل قوية مثل الكلور ، حمض الهيدروكلوريك ، وما إلى ذلك في عملية إنتاج البولي سيليكون ، ومحتوى الرطوبة يتجاوز المعيار يمكن أن يسبب تآكل الأنابيب ، صمام البوابة ، وهلم جرا .

في مرحلة الهدرجة ، من الضروري رصد محتوى الهيدروجين في ذيل الغاز المهدرجة لمنع خطر الانفجار الناجم عن محتوى الهيدروجين الزائد .

عملية إنتاج البولي سيليكون ، عملية اختيار محلل الغاز :

في جانب من جوانب عملية إنتاج البولي سيليكون ، مايكرو محلل المياه يمكن رصد محتوى الماء من الكلور وكلوريد الهيدروجين وغيرها من الغازات المسببة للتآكل .

تتبع الماء و الأكسجين في تطهير الهيدروجين والنيتروجين يمكن الكشف عنها باستخدام نقطة الندى محلل الكهروكيميائية مع مبدأ فيلم مكثف .

إن tdlas ليزر محلل يمكن رصد تركيز الكلور وكلوريد الهيدروجين وغيرها من الغازات . الهيدروجين محلل على أساس مبدأ التوصيل الحراري يمكن رصد تركيز الهيدروجين و نقاء في استرداد غاز الذيل .

ترجمة الصور

عرض الصورة الأصلية

ترجمة

الصينية

english 2

نسخ الترجمة

تحميل صور