AMC رصد تلوث الهواء الجزيئي

الكمالAMC رصد تلوث الهواء الجزيئي

في الوقت الحقيقي رصد تلوث الهواء الجزيئي ( AMC ) مهم جدا في تصنيع أشباه الموصلات .

AMC رصد تلوث الهواء الجزيئيواحدة من متطلبات صناعة أشباه الموصلات هو الرصد السريع ، والتنبيه ، تركيز منخفض جدا قياس ، قياس واسعة النطاق وعالية الحساسية استجابة متعددة الغازات . الأشعة فوق البنفسجية العميقة الطباعة الحجرية يركز على قياس تركيز الأمونيا ، الأمينات ، n-methylpyrrolidone كرت ، والأحماض ، وما إلى ذلك عندما تتفاعل مع هذه الغازات الكيميائية تضخيم مقاومة للضوء ، ونوعية أجهزة أشباه الموصلات سوف تتأثر بشدة .

الأساليب التقليدية القديمة غالبا ما تعتمد على قياس وتحليل غير مباشر . . . . . . . بما في ذلك تأثير الغبار فلتر ، ايون اللوني ، مضان الكيميائية ، وهذه الأساليب هي بطيئة جدا ، عملية معقدة جدا ، ومكلفة ، وقياس النتائج غير دقيقة .

ceas ( تجويف تعزيز امتصاص الطيف )

على أساس الرسم التخطيطي CEAS ( تجويف تعزيز امتصاص الطيف ) تقنية ، حساسية عالية امتصاص الأشعة تحت الحمراء القريبة من الفرقة الخفيفة المستخدمة في قياس الدائرة تتكون من مجموعة من اسطوانات عالية الانعكاس متعددة تعكس العدسات . من أجل ضمان الوضوح ، شعاع من الضوء المشع خارج تجويف مرآة من اليسار وحدة قياس مهملة .

الجيش الشعبي نسخة محسنة يدمج استشعار الضغط ، وحدة تحكم في درجة الحرارة الداخلية ، مع غرفة قياس فائقة الاستقرار ، ومنع الانجراف درجة الحرارة ، والتغيرات في الضغط وغيرها من الأخطاء .

CEAS ( تجويف تعزيز امتصاص الطيف ) لديها العديد من المزايا بالمقارنة مع الجيل الأول من CRDS ( تجويف أسفل رنين الطيف ) . وباختصار ، شعاع الليزر لا تحتاج إلى صدى اقتران في قياس الدائرة ( على سبيل المثال ، شعاع لا تحتاج إلى محاذاة صارمة ) . DUKE أداة تحليلية ونظام لديه خصائص طبيعية بسيطة التركيب ، شركة الميكانيكية ، وحماية قوية ، الخ .