أربعة غرفة الفرن فراغ الكمبيوتر متعددة موقف hmds الفرن

الوظائف الرئيسية متعددة محطة hmds فرن الكمبيوتر

الجهاز بسرعة وبشكل موحد واقتصاديا وكفاءة المعالجة الركيزة من سداسي ميثيل disilane ( hmds ) ، وبالتالي تحسين التصاق الركيزة للضوء .

التصاق عالية الجودة مقاومة للضوء هو أساس جميع الخطوات العملية التالية ، فقط من خلال ما يكفي من السطح المطلي يمكن أن تتكرر بدقة submicron المستوى البؤري الحاجز ، لتجنب حافة الانفجار ، أو بما في ذلك الجانب ، وهلم جرا . فراغ علاج بسرعة يزيل الركيزة ، مما يجعل التصاق ممتازة مع طبقة HMDS مستقرة حتى بعد التعرض إلى الرطوبة الجوية لعدة أسابيع .

أربعة غرفة الفرن فراغ الكمبيوتر متعددة موقف hmds الفرنالخصائص التكنولوجية

الترسيب الكيميائي التوحيد

أفضل زاوية الاتصال التوحيد

moistureproof المعالجة السطحية

التصاق مقاومة للضوء يمكن زيادة 3-5 مرات

تجنب تشكيل الفراغ ، وتحسين نوعية نقل الرسومات

تعزيز التصاق مقاومة للضوء

انخفاض استهلاك hexamethyldisilane ( HMDS )

التطبيقات : ممس ، والترشيح ، التضخيم ، والسلطة ، وغيرها من الأجهزة ، رقاقة ، الياقوت ، الزجاج ، المعادن الثمينة ، كذا ( كربيد السيليكون ) ، غان ( غان ) ، أكسيد الزنك ( أكسيد الزنك ) ، غاو ( أكسيد الغاليوم ) ، الغاليوم ، نيوبات الليثيوم ، فوسفيد الإنديوم ، الماس ، مثل الجيل الثالث من مواد أشباه الموصلات .

أربعة غرفة الفرن فراغ الكمبيوتر متعددة موقف hmds الفرنأداء

الحجم : 40L * 4 ( 1-12 بوصة متوافقة مع المنتجات والحطام ) للتخصيص

عملية التطبيق : 4 محطة التحكم المستقل

نطاق درجة الحرارة : RT + 20-200 درجة مئوية

真空度： ≤1تور

أتمتة : السيطرة على جهاز الكمبيوتر + مس

فراغ مضخة : النفط مجانا دوامة مضخة فراغ

hmds تسرب السائل وظيفة الإنذار

HMDS انخفاض مستوى السائل وظيفة الإنذار الفوري

وظيفة تسجيل البيانات العملية

برنامج قفل الحماية وغيرها من المهام