رقاقة التصاق hmds نظام المعالجة أشباه الموصلات جهاز التصاق

رقاقة التصاق hmds نظام المعالجة أشباه الموصلات جهاز التصاقأهمية

الطباعة الحجرية هي واحدة من الأجزاء الرئيسية في تحديد أنماط الدوائر في العالم من submicron و nanosized تصنيع رقاقة . ومع ذلك ، غالبا ما تهمل العملية السابقة ، رقاقة المعالجة السطحية ، هو تحديد نجاح الطباعة الحجرية " الشبح الوصي " . هل سبق لك أن تعاني من عدم كفاية التصاق مقاومة للضوء ، مما أدى إلى صداع في مرحلة التطوير أو النقش " undercut " أو " مقاومة طبقة تجريد " ؟ هذه العيوب الصغيرة هي واحدة من الجناة التي تؤثر في نهاية المطاف على أداء الجهاز و العائد من خط الانتاج . كما حل القياسية لتحسين الالتصاق من مقاومة للضوء ، عملية نوعية سداسي ميثيل disilazane ( HMDS ) مرحلة الغاز المعالجة لها تأثير مباشر على نجاح أو فشل التصنيع .

دقة تكنولوجيا التحكم : فريدة من نوعها متعددة منطقة التدفئة التحكم في درجة الحرارة تصميم مستقل يمكن أن تعوض في الوقت الحقيقي رقاقة حافة فقدان الحرارة ، وضمان أن من مركز إلى حافة HMDS فعل التدرج في درجة الحرارة أقل .

دينامية نقطة نهاية الرصد حلقة مغلقة التغذية المرتدة : نظام يدمج وحدة الرصد مع حساسية عالية ، ويمكن التحكم في امتصاص بخار HMDS الدولة . من خلال خوارزمية ذكية ، والسيطرة على جرعة من طلاء الوقت هو تعديل عملية تشكيل حلقة مغلقة .

• التوحيد والاتساق : سماكة الفيلم التوحيد أكثر من 99 ٪ يمكن أن تتحقق على 2-12 بوصة رقاقة ، زاوية الاتصال بعد العلاج هو 50-95 درجة التوحيد يمكن أن تصل إلى ± 3 درجة .

• الإنتاجية والكفاءة : الإنتاج الضخم من 2-12 بوصة رقاقة ، واحد أو أكثر من casstaer

• دقة التحكم : التحكم في درجة الحرارة الدقة ، فراغ السيطرة ، hmds البخار السيطرة على دقة ق

• الأتمتة والتكامل : يمكن دمجها في خط الانتاج الحالي ، ودعم الأجهزة SECS / جوهرة البروتوكول

• فعالية التكلفة : استهلاك HMDS منخفضة ، وتكاليف الصيانة والمواد الاستهلاكية منخفضة جدا ، معدل الفشل هو ما يقرب من 0 .

• دعم عملية خاصة : اختيار صورة عملية التقليب

• حارس الأمن : مجهزة HMDS رصد تسرب ، في الوقت الحقيقي رصد
  

بعد بعض ردود الفعل من المستخدمين استخدام hmds نظام المعالجة ، عملية الإنتاج قد تحسنت .

• مقاومة للضوء ذات معدل عيب النقصان : أكثر من 70 ٪

• إجمالي العائد : زيادة مطردة إلى أكثر من 98.5 في المائة

  رقاقة التصاق hmds نظام المعالجة أشباه الموصلات جهاز التصاقتطبيق .
  

هذا النظام ليس فقط مناسبة لأنّ التقليدية القائمة على السيليكون تصنيع الدوائر المتكاملة ، ولكن أيضا في مجالات جديدة مثل الجيل الثالث من أشباه الموصلات ( مثل كذا ، غان ) ، وحسن التعبئة والتغليف ( TSV ، مروحة في الخارج ) ، مايكرو الصمام نقل الجماعي .جهازكما أظهرت إمكانات كبيرة . هذه هي المعالجة السطحية مستقرة التكنولوجيا لتحقيق التصنيع . فائدة نموذج مناسبة لأنّ رقاقة أشباه الموصلات تصنيع مصنع ( مؤسسة ) ، عملية البحث والتطوير قسم من شركة تصميم الدوائر المتكاملة ، ممس تصنيع المشاريع ، إنتاج قناع ، تصنيع أشباه الموصلات المركب ( على سبيل المثال ، غان ، كذا ) جهاز الشركات المصنعة ، ومعاهد البحوث العلمية والجامعات الصغيرة نانو تجهيز المختبرات . التعبئة والتغليف جيدة ( ا ف ب ) مصنعين ، مصنعين الصمام ، رقاقة ميكروفلويديك [ ر & د ] شركة .