شعاع الإلكترون نظام التعرض

درجة حرارة ثابتة نظام التحكم في درجة الحرارة التي اعتمدتها crestec كابل سلسلة يجعل النظام الرئيسي كله يبقى ثابت درجة الحرارة ، بالإضافة إلى جهاز استشعار داخلي من النظام الرئيسي ، مما يجعل شعاع الإلكترون شعاع الإلكترون الاستقرار الحالي ، وتحديد المواقع الاستقرار ، شعاع الإلكترون التوزيع الحالي التوحيد قد تحسنت .

بسبب دقة عالية من الكتابة ، فإنه يأخذ وقتا طويلا لكتابة كامل وافر ، حتى شعاع الالكترون الحالية ، شعاع الالكترون لتحديد المواقع ، شعاع الالكترون التوزيع الحالي التوحيد في الاستقرار على مدى فترة طويلة من الزمن ، من المهم جدا أن مجموعة واسعة من إعداد الرسومات .

إن crestec الجدول سلسلة عالية شعاع الالكترون شعاع الالكترون الاستقرار ودقة تحديد المواقع ، ويمكن تحقيق الربط والنقش في مجموعة كبيرة .

دقة الخياطة لميل L & S <10nm

هذا الرسم البياني هو 2 بوصة ويفر ، باستخدام 50 أم نمط الربط ، كامل الفيلم ، الربط الدقة أقل من 10 نانومتر ( مختبر البيانات ) .

إن crestec سلسلة الجدول يمكن أيضا عملية إعداد خطوط أقل من 10 نانومتر ، سواء في صناعة أشباه الموصلات أو في مجالات أخرى .

كريستيك شعاع الالكترون الطباعة الحجرية المنتجات تلعب دورا هاما .

السمات الرئيسية :

1 . استخدام عالية السطوع والاستقرار عالية TFE بندقية الإلكترون

انحراف شعاع الالكترون تكنولوجيا التحكم

3 . شعاع الالكترون تحديد القرار يمكن أن تصل إلى 0.0012nm باستخدام تقنية التضمين حجم الحقل .

4 . باستخدام تقنية الكتابة متناسق مع المحور ، زاوية انحراف القرار يمكن أن تصل إلى 0.01mrad . . . . . . .

5 - مجالات التطبيق ، مثل تصنيع أجهزة النانو الصغيرة ، سي / الغاليوم متوافقة مع التكنولوجيا ، تصنيع قناع ، نانو تصنيع ( على سبيل المثال ، واحدة من الأجهزة الإلكترونية ، الخ . )

شعاع الإلكترون الطباعة الحجريةكابل-9000Cسلسلة صغيرة linewidth الوصول8 نانومترقطر الشعاع2 نانومتر، تعيين الدقة النقش

20nm (متوسط + 2σ)دقة الربط20nm (متوسط + 2σ)منتدى

المعلمات التقنية :

1 صغيرة linewidth : أقل من 10nm ( 8nm available )

2 . تسريع الجهد : 5-50kv

3 . شعاع الالكترون القطر : أقل من 2 نانومتر

4 . دقة النقش : 20nm ( يعني + 2 σ )

5 . دقة الربط : 20nm ( يعني + 2 σ )

حجم رقاقة : 4-8 بوصة ، 12 بوصة .

7 - القرار : أقل من 2 نانومتر .

شعاع الإلكترون الطباعة الحجريةكابل-UHوتشمل نماذج السلسلة :

كابل-UH90 (90keV)وكابل-UH110 (110keV)وكابل-UH130 (130keV)

المعلمات التقنية :

تسريع الجهد : 130KEV

طول بندقية الإلكترون قصيرة جدا ، لا التفريغ الجزئي

شعاع الالكترون قطرها أقل من 1.6nm linewidth أقل من 7nm

المزدوج التحكم الحراري ، وتحقيق الاستقرار في الكتابة المباشرة

cabl-uh ( 130kv ) سلسلة

بسبب ارتفاع تسارع الجهد ، إلى الأمام تشتت إب المانع هو أصغر . دقة نموذج cabl-uh أقل من 10 نانومتر . يمكنك اختيار 90kv 110kv , أو 130kv حسب الاحتياجات الخاصة بك .

光束直径 lt؛ 1.6nm

صغيرة linewidth : 7 نانومتر ( عند 130KV )

تسريع الجهد : 130 كيلوفولت ، 110 كيلوفولت أو 90 كيلوفولت

حجم الناقل : 8 بوصة رقاقة ( أي رقائق أخرى أقل من 8 بوصة رقاقة يمكن استخدامها )

بلدي ميزة

♦ vacc : 130kv ( 25-130kv 5kv , خطوة )

♦ مرحلة واحدة تسارع تصل إلى 130kv لتقليل حجم اللجنة الاقتصادية لأوروبا

♦ بندقية الإلكترون دون التفريغ

♦ قطر الشعاع أكبر من 1.6nm ;

♦ غرامة سلك القدرة اللفتنانت ؛ 7nm

♦ كهرباء عدسة بين باعث و الأنود مصممة لتحقيق منخفضة جدا انحراف و قريبة جدا عبر الصورة في مركز المسح الكهربائي .

♦ سوبر مستقرة القدرة على الكتابة باستخدام وحدة تحكم الحرارية المزدوجة

مواصفات

1 - أجهزة الإرسال الإلكترونية :تسريع الجهد TFE ( ZRO / W ) Z25 〜 130KV

2 . قطر الشعاع الصغير :linewidth الصغيرة 1.6nm / 7.0nm

3.طريقة المسح الضوئي ناقلات المسح الضوئي ( س ، ص ) ( قياسي ) :ناقلات المسح الضوئي ( ص ، 6 ) ، مقضب المسح الضوئي ، مسح نقطة ( اختياري )

4.المتقدمة وظيفة الطباعة الحجرية ( اختياري ) تعديل حجم الحقل الطباعة الحجرية

5.حجم الحقل 30 PMZ / 60PMZ / 120PRR ) ض ، SOOPMZ ، 600PM3 ( قياسي ) 1200PMZI ، 2400PMZI ( اختياري )

6.20,000 x20, 000 ، 60 ، 000 × 60 ، أو 96 ، 000 × 96 ، أو نقطة ،

عدد بكسل 240 ، 000x 240 ، أو نقطة © ناقلات المسح ( قياسي )

10 , 000xl0 , 000dot @ r3ster المسح الضوئي ( اختياري )