ألمانيا sentech ري البلازما آلة الحفر

منخفضة التكلفةايقاو

ري البلازما آلة الحفر etchlab 200 جنبا إلى جنب مع تصميم موازية لوحة مصدر البلازما مباشرة مع وضع ورقة .

ترقية والتمدد

وفقا لتصميم وحدات ، etchlab 200 البلازما آلة الحفر يمكن ترقيته إلى مجموعة أكبر من مضخات فراغ ، فراغ الغرفة قبل وأكثر من مسار الغاز .

sentech برامج التحكم

البلازما النقش آلة مجهزة سهلة الاستخدام وقوية البرمجيات ، مع محاكاة واجهة المستخدم الرسومية ، المعلمة نافذةتحرير النوافذ وتسجيل البيانات وإدارة المستخدم .

إيتشلاب 200ري البلازما آلة الحفروهو يجمع بين مزايا ري موازية لوحة الكهربائي تصميم و تصميم فعالة من حيث التكلفة مباشرة وضع لوحة . إن etchlab 200 ميزات بسيطة وسريعة تحميل عينة من أجزاء إلى 200 أو 300 ملم في القطر من رقاقة مباشرة إلى القطب أو الناقل . المرونة ، نمطية ، مساحة صغيرة هي خصائص التصميم etchlab 200 . التشخيص نافذة تقع في أعلى القطب و رد فعل الدائرة يمكن أن تستوعب بسهولة sentech تداخل الليزر أو عمر الفاروق و RGA النظم . إن ellipsometry ميناء يمكن استخدامها لرصد sentech ellipsometry في الموقع . . . . . . .

etchlab 200 البلازما آلة الحفر يمكن تهيئتها لحفر المواد المحملة مباشرة ، بما في ذلك ولكن لا تقتصر على مركبات السيليكون وأشباه الموصلات والمركبات ، وسائل الإعلام والمعادن .

إيتشلاب 200من خلال تشغيل برامج التحكم Sentech ، وذلك باستخدام تكنولوجيا ناقل المجال عن بعد واجهة المستخدم ودية عامة .

إيتشلاب 200:

• ري البلازما آلة الحفر

• فتح غطاء تصميم

• مناسبة لأنّ 200mm رقاقة

• نافذة التشخيص تداخل الليزر و عمر الفاروق

• اختيار واجهة اليپسومتر

• 
  

• 
  

• 
  

etchlab 200 مع فراغ الغرفة :

• ري آلة الحفر مع فراغ الغرفة

• مناسبة لأنّ 4 بوصة إلى 8 بوصة رقاقة

• الناقل رقاقة أو قطعة

• الكلور غاز الحفر

• أكبر مجموعة مضخة فراغ

• 
  

• 
  

إتشلاب 200-300:

• ري البلازما آلة الحفر

• فتح غطاء تصميم

• مناسبة لأنّ 300mm رقاقة

• نافذة التشخيص تداخل الليزر و عمر الفاروق

•