sentech ترسيب الأبخرة الكيميائية ( فراغ الغرفة )

عملية المرونة

إن PECVD جهاز سي 500 جزء في المليون يسهل ترسيب الأبخرة الكيميائية القياسية عمليات SiO2 ، SiNX ، SiO2 ، سي في درجة حرارة الغرفة إلى 350 درجة مئوية .

قبل فراغ الغرفة

سي 500 PPD ميزات ما قبل فراغ الغرفة الجافة مضخة وحدة خالية من النفط ، عالية الغلة ، ونظيفة ترسيب الأبخرة الكيميائية العمليات .

sentech برامج التحكم

قوية واجهة المستخدم ودية البرمجيات بما في ذلك محاكاة واجهة المستخدم الرسومية ، نافذة المعلمةوصفة طبيةتحرير النوافذ وتسجيل البيانات وإدارة المستخدم .

سي 500 جزء في المليون يمثل البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائية ( PECVD ) جهاز إيداع الأفلام العازلة ، غير متبلور السليكون ، كربيد السيليكون ، وغيرها من المواد . وهو يقوم على لوحة مسطحة بالسعة البلازما مزدوجة المصدر ، قبل فراغ الغرفة ، التحكم في درجة الحرارة الركيزة الكهربائي ، اختياري الترددات اللاسلكية ذات التردد المنخفض المصدر ، التحكم الآلي نظام فراغ خالية من النفط ، sentech السيطرة على البرمجيات ، وذلك باستخدام تكنولوجيا ناقل المجال عن بعد ، فضلا عن واجهة سهلة الاستخدام لتشغيل سي 500 جزء في المليون .

سي 500 PPD البلازما ترسيب المعدات التي يمكن معالجتها منكبير .رقاقة إلى 200 ملم في القطر إلى أجزاء محمولة على الناقل . رقاقة واحدة قبل فراغ الغرفة يضمن عملية مستقرة شرط يدرك عملية بسيطة التبديل .

سي 500 PPD البلازما تعزيز ترسيب جهاز يستخدم لإيداع SiO2 ، SiNX ، SiNX ، سي الأفلام في درجة حرارة تتراوح من درجة حرارة الغرفة إلى 350 درجة مئوية . سي 500 جزء في المليون يمكن أن توفر حلا ترسب تيوس ، كذا ، وغيرها من المواد السائلة أو الغازية السلائف . سي 500 جزء في المليون هو مناسبة خاصة بالنسبة ترسيب الأبخرة الكيميائية المستخدمة في النقش أقنعة ، التخميل الأفلام ، الدليل الموجي وغيرها من الأفلام العازلة وغير متبلور السليكون .

sentech يوفر مستويات مختلفة من التشغيل الآلي ، من فراغ خرطوشة الناقل إلى غرفة العملية أوإلىفائدة نموذج يمكن استخدامها لمختلف عمليات الحفر والترسيب وحدات لتشكيل نظام متعدد تجويف ، والهدف من ذلك هو مرونة عالية أو عالية الغلة . سي 500 جزء في المليون يمكن أن تستخدم أيضا بوصفها عملية وحدة متعددة تجويف نظام الترسيب .

SI 500 PPD:

• البلازما ترسيب الأبخرة الكيميائية معدات

• مع ما قبل فراغ الغرفة

• مناسبة لأنّ كبيرة بما أنّ 200mm رقاقة

• درجة حرارة الركيزة من درجة حرارة الغرفة إلى 350 درجة مئوية

• اختيار الترددات اللاسلكية ذات التردد المنخفض للحد من الإجهاد

• السائل السلائف ترسب تيوس

• مجموعة مضخة الجافة