ألمانيا sentech icp-rie البلازما آلة الحفر

قابلة للتفاوضتحديث01/31

نموذج

طبيعة المصنع: المنتجين

فئة المنتج

مكان المنشأ

استشارة عبر الإنترنت

نظرة عامة

sentech بالحث اقترن البلازما آلة الحفر ( سي 500 ) هو نوع من البلازما مزدوجة الحث ( ICP ) نظام الحفر الجافة التي وضعتها sentech ( ألمانيا ) . مع دقة عالية ، وانخفاض الضرر ، سرعة عالية ومرنة تصميم وحدات ، هذا المنتج قد استخدمت على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ، وتصنيع الآلات الدقيقة نانو وغيرها من المجالات .

تفاصيل المنتج

انخفاض الضرر النقش

بسبب انخفاض الطاقة الأيونية ، ايون توزيع الطاقة على نطاق واسع .استخدام ليالبلازما النقش آلة سي 500انخفاض الضرر النقش النقش النانومنتدى

عالية السرعة الحفر

على سرعة عالية ممس النقش مع ارتفاع نسبة الجانب ، على نحو سلس الجدران الجانبية يمكن أن يتحقق بسهولة من خلال عملية التبديل الغاز في درجة حرارة الغرفة أو انخفاض درجة الحرارة العملية .

برنامج المقارنات الدولية مصدر البلازما

ثلاثة دوامة موازية لوحة هوائي ( PTSA ) مصدر البلازما هو سمة من sentech البلازما معدات التجهيز . PTSA المصدر يمكن أن تولد البلازما موحدة مع ارتفاع كثافة الطاقة الأيونية الأيونية منخفضة . فائدة نموذج يحتوي على مزايا عالية الكفاءة اقتران جيدة جدا بداية الأداء ، والتي هي مناسبة جدا لتجهيز مختلف المواد والهياكل .

دينامية التحكم في درجة الحرارة

في عملية النقش البلازما ، وتحديد درجة حرارة الركيزة والاستقرار تلعب دورا هاما في تحقيق جودة عالية النقش . برنامج المقارنات الدولية الركيزة الكهربائي مع دينامية التحكم في درجة الحرارة جنبا إلى جنب مع الهليوم التبريد مرة أخرى و استشعار درجة الحرارة على ظهره الركيزة يمكن أن توفر ظروف عملية ممتازة في مجموعة واسعة من درجات الحرارة من - 150 درجة مئوية إلى + 400 درجة مئوية .

سي 500 يوفر البلازما مزدوجة الحث ( ICP ) معدات البحث والتطوير والإنتاج . وهو يستند إلى برنامج المقارنات الدولية البلازما المصدر PTSA ، ودينامية التحكم في درجة الحرارة الركيزة الكهربائي ، ونظام التحكم الآلي بالكامل فراغ ، مجموعة برامج التحكم باستخدام تكنولوجيا ناقل المجال عن بعد ، واجهة سهلة الاستخدام العالمي لتشغيل سي 500 . المرونة البنيوية هي السمات الرئيسية تصميم سي 500 .

سي 500 برنامج المقارنات الدولية النقش البلازما آلة يمكن استخدامها لمعالجة مجموعة متنوعة من ركائز ، من رقائق تصل إلى 200 ملم في القطر إلى أجزاء محمولة على الناقل . رقاقة واحدة prevacuum يضمن استقرار الظروف التكنولوجية ، عملية التبديل هو سهل جدا .

سي 500 برنامج المقارنات الدولية النقش البلازما آلة يمكن استخدامها من خلال تكوين النقش على مواد مختلفة ، بما في ذلك ، ولكن ليس على سبيل المثال ، ثلاثي خماسي مجمع اشباه الموصلات ( الغاليوم ، للتراث ، غان ، insb ) ، عازل ، كوارتز ، الزجاج ، السيليكون والسيليكون مجمع ( كذا ، SiGe ) ، فضلا عن المعادن .

sentech يوفر للمستخدمين مع مستويات مختلفة من التشغيل الآلي ، من فراغ خرطوشة الناقل إلى غرفة العملية إلى ست وحدات عملية الموانئ ، والتي يمكن استخدامها في مختلف عمليات الحفر والترسيب وحدات لتشكيل نظام متعدد تجويف ، والهدف من ذلك هو مرونة عالية أو عالية الغلة . سي 500 برنامج المقارنات الدولية النقش البلازما آلة يمكن أن تستخدم أيضا بوصفها وحدة عملية متعددة تجويف النظام .

SI 500:

برنامج المقارنات الدولية البلازما آلة الحفر
مع ما قبل فراغ الغرفة
مناسبة لأنّ 200mm رقاقة
درجة حرارة الركيزة من - 20 درجة مئوية إلى 300 درجة مئوية

SI 500C:

متحاور برنامج المقارنات الدولية البلازما آلة الحفر
حزام نقل الدائرة قبل فراغ الغرفة
درجة حرارة الركيزة من - 150 درجة مئوية إلى 400 درجة مئوية
SI 500 RIE:
ري البلازما آلة الحفر
الحل الذكي تبريد الهليوم النقش على السطح الخلفي
برنامج المقارنات الدولية مصدر البلازما مزدوجة الحث

SI 500-300:

برنامج المقارنات الدولية البلازما آلة الحفر
مع ما قبل فراغ الغرفة
مناسبة لأنّ 300mm رقاقة

منتج مماثل يوصي