المزايا الرئيسية

حماية مستقلة عبر هيكل ثلاثي الأبعاد ( رقم 9 ) ، وتحسين معدل إنتاج المعدات wph

اعتماد تصميم مستقل ، وتحسين توزيع الهواء في الجهاز كله ، والحد من تلوث الجسيمات

دقة التحكم في كمية الطلاء ، والحد من استهلاك مقاومة للضوء

فائدة نموذج لديها وظائف متعددة شفط مرة أخرى ، والتي يمكن أن تمنع بشكل فعال فوهة الفم من التبلور .

تجويف مجهز مستقل جهاز العادم ، والتي يمكن تحسين الاتساق من مقاومة للضوء فيلم سمك ، والحد من

عالية الدقة لوحة الساخنة مجهزة الذاتي المتقدمة متعددة تقسيم السيطرة

برامج التحكم المتقدمة بشكل مستقل ، والتي يمكن تحسين مسار انتقال رقاقة ، وتقصير وقت الإرسال

مع وظيفة الكشف عن الخلل ، يمكن العثور على المشاكل في الوقت المناسب

التلقائي وظيفة التدريس ، وتحسين الكفاءة

دعم التيار الرئيسي photoetching واجهة الجهاز

خصائص ومواصفات

يمكن استخدامها لتنظيف رقاقة 300mm

يمكن تكوين 4 loadport ، ما يصل إلى 8 تجاويف الغراء و 8 تطوير تجاويف

يمكن أن تمتد إلى دعم 12 و 12 وضع تجاويف تجاويف الغراء ، كل ساعة قدرة رقاقة يمكن أن تصل إلى 300 ؛

درجة حرارة الغرفة : 23 ° C ± 0.1 ° C ، مجموعة الخبز من 50 ° C إلى 250 ° C