المزايا الرئيسية

تصميم تجويف واحد مع الملكية الفكرية المستقلة متعددة التدفئة القرص

مجهزة مع جهاز توزيع الغاز الخاص تشاك تصميم

تحويل الأفلام يمكن أن توفر أفضل فيلم التوحيد ، أفضل فيلم الإجهاد أقل خصائص الجسيمات

النظر في متطلبات إنتاجية عالية ، كل تجويف يتم توفيرها مع عدد وافر من لوحات التدفئة

المرونة في تخصيص عدد من تجاويف مع مراعاة الاحتياجات المختلفة من القدرات

برامج التحكم الذاتي المتقدمة يمكن تكوين بمرونة لتلبية الاحتياجات ذات الصلة

تصميم فراغ مناور مطابقة متعددة تدفئة تجويف القرص رقاقة الوصول للمادة

درجة حرارة العملية متوافقة مع متطلبات مختلف PECVD الأفلام المودعة من 200C إلى 650C

خصائص ومواصفات

يمكن تطبيقها على مختلف متطلبات 300mm رقاقة رقيقة ترسب

الجهاز يعتمد تصميم تجويف واحد وحدي ، مع اثنين من تكوينات :
واحد إلى ثلاثة تجويف وحدة يمكن تهيئتها ، والتي هي مناسبة رقيقة الأفلام المودعة مع مراعاة الإنتاجية .
فائدة نموذج يتعلق أربعة إلى خمسة تجويف وحدة ، والتي هي مناسبة لإيداع فيلم سميكة نسبيا متوافق مع الذراع الطويلة فراغ ذراع ميكانيكية .