مرحبا بكم العميل!

العضوية

التابير

مساعدة

التابير
Shengmei ????? ????? ???????? ( ?????? ) ????????
صمصنع مخصص

المنتجات الرئيسية:

cep-onlineصمنتجات

Shengmei ????? ????? ???????? ( ?????? ) ????????

  • البريد الإلكتروني

    123@qq.com

  • الهاتف

    13112345679

  • العنوان

ساتصل الآن

بعد اجتماع الأطراف تنظيف المعدات

قابلة للتفاوضتحديث02/15
نموذج
طبيعة المصنع
المنتجين
فئة المنتج
مكان المنشأ
نظرة عامة
بعد مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف المعدات المستخدمة في التنظيف بعد الكيميائية تلميع الميكانيكية ( CMP ) عملية تصنيع ركائز ذات جودة عالية تشمل الرطب والجاف مدخل ومخرج ( wido ) والجاف مدخل ومخرج ( dido ) . معدات التنظيف 6 و 8 بوصة تكوينات مناسبة لتصنيع كربيد السيليكون ( كذا ) ركائز . 8 بوصة و 12 بوصة تكوينات مناسبة لتصنيع رقائق السيليكون .
تفاصيل المنتج

بعد اجتماع الأطراف تنظيف المعدات

  

المزايا الرئيسية

بعد مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف خطوة ، المادية قبل عملية التنظيف باستخدام المواد الكيميائية المخففة في درجة حرارة منخفضة مطلوب للحد من حجم الجسيمات . بعد مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف تنظيف المعدات في Shengmei شنغهاي يمكن أن تلبي هذه الاحتياجات ، وتوفير مجموعة متنوعة من التشكيلات ، بما في ذلك تطوير شنغهاي Shengmei الذكية megasonixtm المتقدمة تكنولوجيا التنظيف .


الخصائص والمواصفات ( Ultra C WPN ( WIDO )

معدات ما قبل التنظيف على الانترنت :
أقل من 15 من الجزيئات المتبقية أو أقل من 28 نانومتر يمكن أن تتحقق .
20-25 الجزيئات المتبقية
التلوث المعدني يمكن السيطرة عليها في غضون 1 + 8 ( ذرة / سم مربع )
عندما يتم تكوين أربعة تجاويف ، والإنتاجية يمكن أن تصل إلى 35 رقاقة في الساعة

معدات ما قبل التنظيف غير متصل :
أقل من 15 من الجزيئات المتبقية أو أقل من 28 نانومتر يمكن أن تتحقق .
20-25 الجزيئات المتبقية
مساحة صغيرة




خصائص ومواصفات ( Ultra C WPN ( DIDO )

شكلي أربعة ميناء التحميل

مساحة صغيرة

أربعة أو ستة تجاويف يمكن ترتيبها ، والتي هي على التوالي اثنين من فرشاة ناعمة ، واثنين من تنظيف تجاويف أو اثنين من فرشاة ناعمة وأربعة تنظيف تجاويف .

أقل من 15 من الجزيئات المتبقية أقل من 37 نانومتر أو 20-25 الجزيئات المتبقية أقل من 28 نانومتر يمكن أن تتحقق .

يمكن أن تصل إلى 60 رقاقة في الساعة